반도체 기술의 미래,
지구에 없는 빛에서 찾다

한양대학교 나노공정 및 소자연구실

HOME 누구도 가보지 않은 길을 걷는 건 어떤 기분일까요? 어디로 이어질지 알 수 없는 막막함, 불안감에 한시도 마음이 편치 않을 것 같습니다. 그럼에도 과학자들이 어려운 길을 택하는 이유는 미지의 세계에 대한 기대가 더 크기 때문이 아닐까 싶은데요. 국내에서는 최초로, 지구상에 존재하지 않는 빛(EUV*)을 반도체 제조에 접목한 사람들이 있습니다. K-반도체의 새 길을 열어가고 있는 노광기술의 대가 안진호 교수, 한양대학교 나노공정 및 소자연구실의 이야기입니다.

*EUV(Extreme Ultra Violet) : 극자외선
 (반도체 제작에 중요한 과정인 포토 공정을 할 때 극자외선 파장의 광원을 사용하는 리소그래피 기술 및 제조 공정)